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四极质谱仪检测器模块

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-07 0:11:10 * 浏览: 0
该模块是一种特殊的过程监控或气体分析设备,配有各种进气系统,并连接到空转的涡轮泵站以清空分析仪:■基于PrismaPlus的HPA220高压分析仪。过程压力高达50hPa,基于PrismaPlus的手动和自动进气系统SPM220溅射过程监控器。通过各种进气口选项,过程压力可以达到基于HiQuad的10-2hPa或10hPaSPM700溅射过程监控器。与SPM220相同的工艺压力■基于HiQuad,EPD700用于在气相蚀刻过程中检测正离子。工艺压力可达到10-2hPa。