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真空镀膜:蒸发绕线涂布机

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-31 13:44:45 * 浏览: 0
辊式涂布机在过去的30年中取得了长足的进步。涂料产品广泛用于装饰,包装,电容器等领域,并可涂有光学,电气,电磁,导电等薄膜。所使用的基材为PE,PET,PI,PP,OPP,BOPP,纸张,泡沫塑料和布。通常,塑料基薄膜材料的水含量为1%至2%,纸的水含量较大,通常为5%-7%。涂覆并干燥后,水含量仍为3%。由于基底的高水含量,涂覆室已经从最初的单室发展到当前的双室或多室结构。蒸发源可以是电阻,感应,电子束和磁控溅射。双室结构被广泛使用,其优点是:①可以蒸发出气量大的纸张基材,并可以保证涂层质量。由纸发出的大量气体从卷绕室排出。由于卷绕室与蒸发室之间的狭窄间隙较小,因此释放的气体难以进入蒸发室。 ②单室结构必须配备较大的排气系统,以确保蒸发过程中的工作压力。双室结构的蒸发室气体体积小,可配备小型抽气单元,降低设备成本,节约能源;③绕线室和蒸发室的抽气可缩短抽气时间。除了普通涂布机的结构之外,卷绕真空涂布机还必须具有用于连续涂布的卷绕机构。因为要电镀的基材是纸或塑料,所以风量很大。因此,真空室的结构分为单室和多室。辊式双室真空镀膜机的结构如图10-10所示。在卷绕机构的设计中应考虑以下几个问题:①增加卷绕速度的问题。卷绕速度是带状基板的移动的线速度。它是绕线机构的一项主要技术。早期的家用涂布机的卷绕速度仅为10m / min,现在仅为80m / min〜120m / min。在日本和国外的EW系列产品中,卷绕速度已达到300m / min。 H公司生产的涂布机已达到600m / min。可以看出,随着涂层技术的发展,卷绕速度需要提高。 ②皮带基材的线速度恒定。这个问题也非常重要,因为只有当卷绕机构保证带状基底的线速度恒定时,基底上的涂层厚度才能均匀。这对于使用带状基材生产功能膜(例如电容器膜)尤为重要。 ③皮带基材的起皱和起皱。随着卷绕速度的增加,条形基板在卷绕涂覆过程中起皱和偏转。严重时,会导致基材破裂并中断生产,从而影响生产效率和废料。因此,在绕线机构的设计中应充分考虑这一问题。真空镀膜机的真空泵系统分为上腔室和下腔室两类。下室是气相沉积室,其需要高真空度。主泵主要是油扩散泵。上室是基板卷绕室,其需要低真空。它是罗茨泵装置或扩散泵-罗茨泵-机械泵装置。通常,蒸发室的真空度为1×10-3帕姆施特,2倍,10-3Pa,工作压力为1倍,10-2帕姆施氏,2倍,10-2Pa,而卷绕室的真空度通常为幅度低于蒸发室。有时,卷材涂布机使用膨胀泵(一种油扩散泵)作为主泵。尽管其极限压力不如油扩散泵那么好,但其泵速范围向高压方向扩展了一个数量级,非常适合这种蒸发涂层。处理。目前,大部分蒸发使家用卷材涂布机中的许多场合使用坩埚蒸发,并且材料为氮化硼,石墨,钼等。由于其良好的电和热性能以及较长的使用寿命,氮化硼更常用于卷材涂布机中。每个坩埚的加热功率为6kWmdash,8kW,加热电压为10Vmdash,12V。坩埚的数量由基板的宽度决定。宽度越宽,坩埚的数量越多。 500毫米宽的4个坩埚,800毫米的7个坩埚,1300毫米的12个坩埚。坩埚的分布是不均匀的,中间部分之间的距离较大,而在基板边缘处的距离较小。一些z *外坩埚与基板的宽边重合。